Te/GeTe ALD 공정 XRF 워크북 → 레시피 파싱 · 두께 모델 적합 · 단일 HTML 대시보드. 실행 바이너리에서 복구한 저장소.
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Updated
Sep 2, 2026 - HTML
Te/GeTe ALD 공정 XRF 워크북 → 레시피 파싱 · 두께 모델 적합 · 단일 HTML 대시보드. 실행 바이너리에서 복구한 저장소.
SiO₂ Dry Etch 공정 AI 예측 대시보드 — TCAD 가상공정 데이터를 학습한 surrogate로 Etch Rate·Profile·Undercut을 즉시 예측하고 Spec 만족 공정영역을 탐색. 설치 불필요 웹 데모 제공.
TCAD 기반 이온주입·열처리 공정 AI Surrogate 예측·최적화 플랫폼 (제13회 전국 ICT융합 공모전 · AI 기반 산업 혁신)
반도체 제조 합성 데이터 5종과 그것을 실제로 푸는 분석 파이프라인. 수율 원인 추적 · Etch 레시피 예측 · 장비 열화 감지 · 스토리지 마모 예측 · 신뢰성 설비 귀인
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